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恒歌大流量多工藝潔凈室過濾器

簡要描述:大流量氣體過濾器,專為半導體制程超高純工藝氣體在線過濾應用設計,采用全316L不銹鋼精密打造,多柱狀或疊盤狀介質設計確保高流通量下低阻損,過濾精度高達0.003μm,滿足超高純工藝需求。整體金屬構造,是高溫動態環境下的理想過濾解決方案

  • 產品型號:
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2024-11-11
  • 訪  問  量:162

詳細介紹


用于半導體應用的高純半導體大流量過濾器

產品介紹

大流量氣體過濾器,專為半導體制程超高純工藝氣體在線過濾應用設計,采用全316L不銹鋼精密打造,多柱狀或疊盤狀介質設計確保高流通量下低阻損,過濾精度高達0.003μm,滿足超高純工藝需求。整體金屬構造,是高溫動態環境下的理想過濾解決方案


產品特點

?不銹鋼粉末燒結介質,可快速排氣

?整體316L不銹鋼結構

?減少工藝腔體排氣時的湍流

?適用于多種工藝氣體

?潔凈室環境內制造、測試、包裝

?100%完整性測試通過

?100%氦氣泄露檢測通過

?耐高溫、耐高壓、耐腐蝕

?防止微粒混入,幫助提高產品合格率

?可根據安裝空間進行設計









恒歌大流量多工藝潔凈室過濾器















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