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擴散器專用過濾器，專為半導體制程中真空腔體快速放氣應用進行設計。結(jié)合了擴散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性，擴散器專用過濾器過濾精度可達0.003μm。全316L不銹鋼結(jié)構(gòu)，不僅確保高效過濾，更巧妙的規(guī)避了湍流產(chǎn)生，對工藝室環(huán)境造成影響，有效防止氣流吹起顆粒或者吹起硅片。可定制化設計，靈活適應各類安裝空間。

墊圈式設計確保易于安裝，使其成為 MFC（質(zhì)量流量控制器）模塊、精密閥門和壓力調(diào)節(jié)器的重要保護屏障。 多孔金屬限流過濾器能夠承受高達 400°C 的溫度，有效阻止顆粒侵入，保護敏感氣體成分。

墊圈式設計確保易于安裝，使其成為 MFC（質(zhì)量流量控制器）模塊、精密閥門和壓力調(diào)節(jié)器的重要保護屏障。 多孔金屬墊片過濾器能夠承受高達 400°C 的溫度，有效阻止顆粒侵入，保護敏感氣體成分。

墊圈式設計確保易于安裝，使其成為 MFC（質(zhì)量流量控制器）模塊、精密閥門和壓力調(diào)節(jié)器的重要保護屏障。 多孔金屬墊片過濾器能夠承受高達 400°C 的溫度，有效阻止顆粒侵入，保護敏感氣體成分。

墊圈式設計確保易于安裝，使其成為 MFC（質(zhì)量流量控制器）模塊、精密閥門和壓力調(diào)節(jié)器的重要保護屏障。 多孔金屬墊片過濾器能夠承受高達 400°C 的溫度，有效阻止顆粒侵入，保護敏感氣體成分。

通過防止與污染相關(guān)的泄漏，延長設備使用壽命并降低維護成本。該過濾器提供低壓和高壓兩種型號，可改裝到現(xiàn)有的管道系統(tǒng)中，為保護精密設備免受污染提供經(jīng)濟高效的解決方案