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墊圈式設(shè)計確保易于安裝，使其成為 MFC（質(zhì)量流量控制器）模塊、精密閥門和壓力調(diào)節(jié)器的重要保護屏障。 多孔金屬墊片過濾器能夠承受高達 400°C 的溫度，有效阻止顆粒侵入，保護敏感氣體成分。

工藝氣體專用過濾器，專為半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用進行設(shè)計。結(jié)合了擴散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性，擴散器專用過濾器過濾精度可達0.003μm。全316L不銹鋼結(jié)構(gòu)，不僅確保高效過濾，更巧妙的規(guī)避了湍流產(chǎn)生，對工藝室環(huán)境造成影響，有效防止氣流吹起顆粒或者吹起硅片。可定制化設(shè)計，靈活適應(yīng)各類安裝空間。

IGS面板氣體過濾器，專為高流量電子級氣體超純凈化設(shè)計，過濾精度高達0.003μm。其結(jié)構(gòu)緊湊、強度高，與多種半導(dǎo)體工藝氣體兼容，尤其適用于大宗氣體及惰性氣體。該系列采用全焊接316L不銹鋼外殼，確保與多數(shù)高純度半導(dǎo)體工藝氣體的兼容性。它適用于大流量特種氣體供應(yīng)及超高純度氣棒，在半導(dǎo)體、LED、光伏及MEMS設(shè)備連接中提供超高純度過濾，滿足閥歧管箱、氣柜等工藝需求。

擴散器專用過濾器，專為半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用進行設(shè)計。結(jié)合了擴散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性，擴散器專用過濾器過濾精度可達0.003μm。全316L不銹鋼結(jié)構(gòu)，不僅確保高效過濾，更巧妙的規(guī)避了湍流產(chǎn)生，對工藝室環(huán)境造成影響，有效防止氣流吹起顆粒或者吹起硅片。可定制化設(shè)計，靈活適應(yīng)各類安裝空間。

墊圈式設(shè)計確保易于安裝，使其成為 MFC（質(zhì)量流量控制器）模塊、精密閥門和壓力調(diào)節(jié)器的重要保護屏障。 多孔金屬墊片過濾器能夠承受高達 400°C 的溫度，有效阻止顆粒侵入，保護敏感氣體成分。

用于半導(dǎo)體行業(yè)集成氣體輸送與控制系統(tǒng)，兼容C型和W型多種密封規(guī)格，實現(xiàn)0.003μm級高效顆粒過濾，保障9-LRV清潔度。支持高達100slpm的大流量，適助力設(shè)備升級無憂。全316L不銹鋼構(gòu)造，堅固耐用，緊湊體型融合全焊接與機械密封技術(shù)。采用符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)的表面安裝元件，便于系統(tǒng)集成與模塊化設(shè)計升級